Eine Spezialität der IOT sind

• kundenspezifische Einzellösungen spezieller Plasma- und Ionenstrahlanlagen für den Einsatz in der Dünnschicht- und Oberflächentechnik

und als Besonderheit

• Plasmaanlagen für die Plasma-Immersions-Ionenimplantation (PIII) auch in Kombination mit Sputterquellen zur gleichzeitigen Beschichtung (PIIID).

Neben dem eigentlichen Anlagenbau begleiten wir unsere Kunden von Vorversuchen und Tests in den IOT-eigenen Anlagen bis zur Prozessentwicklung und -optimierung. Hierbei profitieren die IOT-Kunden von den Möglichkeiten umfangreicher Vorversuche und einer maßgeschneiderten Prozessentwicklung in einer der vorhandenen Plasma- und Ionenstrahlanlagen im IOT-eigenen Entwicklungslabor in Leipzig.