Wird ein Gemisch aus Stickstoff und Sauerstoff in einer Reaktionskammer mit einem Excirad 172 Strahler bestrahlt, dann entstehen in der Reaktionszone angeregter Sauerstoff und Ozon. Dieses Gemisch kann zusammen mit der energiereichen 172-nm-Strahlung zu einer sehr effektiven Reinigung und Aktivierung von verschiedensten Substratflächen verwendet werden.