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Description et fonctions

L'adaptateur permet un transfert d'énergie effectif du générateur 13,56 MHz HF à la source d'ions, grâce à l'adaptation d'impédences.

Automatic matching network

L'a-RFM 40 contient un π-circuit avec deux condensateurs de précision ajustable (C1 et C2). La mesure constante de l'énergie transmise et de l'énergie réfléchie permet un réglage optimal à tout moment. C1 et C2 peuvent être réglés par rotation pour minimiser l'énergie réfléchie.

Replacement circuit diagram of the RF generator, matching network

object

measuring unit

value

type: π-type (capacitor grounded, inductance fixed)

use: adjustment of RF plasma sources with characteristic impedance of 50 Ohms

Physical specifications

dimensions (width x height x depth)

28 units x 3 height units (132,5 mm) x 500 mm (without plug)

mounting

½ 19” slide-in, rack-mounting

weight

kg

2.8

Connector / Cable specifications

input / output jacks

type N (50 Ohm)

ground connection

M5

Input power specifications

line voltage

VAC

100…240

line frequency

Hz

50…60

max. input power (during tuning)

W

30

time-lag fuse at power input

mA

500

RF specifications

frequency of RF generator (operating freq.)

MHz

13.56

maximum RF power input

W

300

analogue voltage signal input for forward power and reflected power

V

0…5 or 0…10

max. capacity of C1 and C2

pF

 

setting of capacitors

stepper motors

operation modes

manually or automatically

Environmental specifications

operating temperature

°C

-25…55

storage temperature

°C

-25…70

relative humidity (non-condensing)

%

5…95

vibration (2g peak)

Hz

10…150


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