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Das Anpassnetzwerk ermöglicht durch Anpassung der Impedanzen einen effektiven Energietransfer vom 13.56 MHz RF Generator zur Ionenquelle.

Das a-RFM 40 enthält eine π-Schaltung mit zwei einstellbaren Präzisionskondensatoren  (C1 and C2). Durch die permanente Messung der übertragenen und der reflektierten Energie wird jederzeit die optimale Einstellung mit minimaler reflektierter Energie gewählt.

Neben der vollautomatischen Version ist auch eine manuell einstellbare Version erhältlich.

Replacement circuit diagram of the RF generator, matching network

 

object

measuring unit

value

type: π-type (capacitor grounded, inductance fixed)

use: adjustment of RF plasma sources with characteristic impedance of 50 Ohms

Physical specifications

dimensions (width x height x depth)

28 units x 3 height units (132,5 mm) x 500 mm (without plug)

mounting

½ 19” slide-in, rack-mounting

weight

kg

2.8

Connector / Cable specifications

input / output jacks

type N (50 Ohm)

ground connection

M5

Input power specifications

line voltage

VAC

100…240

line frequency

Hz

50…60

max. input power (during tuning)

W

30

time-lag fuse at power input

mA

500

RF specifications

frequency of RF generator (operating freq.)

MHz

13.56

maximum RF power input

W

300

analogue voltage signal input for forward power and reflected power

V

0…5 or 0…10

max. capacity of C1 and C2

pF

 

setting of capacitors

stepper motors

operation modes

manually or automatically

Environmental specifications

operating temperature

°C

-25…55

storage temperature

°C

-25…70

relative humidity (non-condensing)

%

5…95

vibration (2g peak)

Hz

10…150


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