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Das Anpassnetzwerk ermöglicht durch Anpassung der Impedanzen einen effektiven Energietransfer vom 13.56 MHz RF Generator zur Ionenquelle.

Das m-RFM 40 enthält eine π-Schaltung mit zwei einstellbaren Präzisionskondensatoren  (C1 and C2).

Neben der manuell einstellbaren Version ist auch eine vollautomatische Version erhältlich.

 Manuell einstellbares Anpassnetzwerk für HF-Plasmaquellen

 

Nutzung

Anpassung von HF-Plasmaquellen mit Wellenwiderstand von 50 Ohm

Matching Typ

Pi ( capacitor grounded, inductance fixed )

Power

Max. 300 Watt

Arbeitsfrequenz

13,56 Mhz

Arbeitsbereich

SWR 1:4 ; 12 - 220 Ohm

Hochspannungfestigkeit

Max. 1kV ( DC )

Drehknopfübersetzung

1:9 ( max / min = 4,5 Umdrehungen, kein Anschlag )

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0 = maximal- 4,5 = minimal Kapazität

Eingang-/Ausgangsbuchsen

Typ N ( 50 Ohm )

Erdungsanschluss

M5

Maße ( B-H-T )

28TE - 3HE - 227mm

Gewicht

2,8 kg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


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